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真空度測(cè)試儀的特征

真空度測(cè)試儀的特征

真空度測(cè)試儀均采用基于電離電荷的采樣技術(shù)。我公司專家在磁控放電的研究中發(fā)現(xiàn)：在外激勵(lì)電源、真空滅弧室的幾何尺寸、所用材料
一定時(shí)，真空滅弧室內(nèi)的真空度與電離的電荷量有非常準(zhǔn)確的對(duì)應(yīng)關(guān)系，而與電離電流的峰值僅有概率上的相關(guān)性。因此，我公司開創(chuàng)了
基于電離電荷的采樣技術(shù)，顯著提高了真空滅弧室的真空度計(jì)量的準(zhǔn)確性。

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